垂直单向流的洁净室 顶棚满布高效过滤器送风口送风，格栅地板或侧下回风，垂直单向流的气流流型，洁净空气由上而下地垂直平行流经工作活动区，带尘、菌的污染空气穿过格栅地板，经回风静压箱进入回风管。目前对“典型”或“全面”单向流气流型方式的定义，即顶棚是否满布高效过滤器的说法不一，美国环境科学学会(In- stitute of Environmental Sciences)将单向流送风面积在80%以上的单向流方式称为全面单向流方式，而有的资料介绍顶棚上一般占其面积60%布置高效过滤器时，也被称为垂直单向流洁净室。
垂直单向流洁净室的主要特点是空气洁净度高，室内空气相互污染少，被工作活动区污染的空气可很快排出，防止微粒扩散，地面不会积尘，微粒二次飞扬极少;室内任何地方都达到所要求的洁净度等级，生产工艺设备布置方便;自净能力强，可以简化人员净化设施;但顶棚、地板结构较复杂，高效过滤器数量多，造价高、运行 费用高。
垂直单向流周边压出式回风方式，是一较简易的垂直单向流洁净室，室内气流不能都是平行气流，若将周边压出改为两侧下部压出回风，其室内气流的平行性可得到改善，这种形式的垂直单向流洁净室应以满足洁净室内工艺生产区对洁净度的要求为前提。
有围挡壁的局部垂直单向流洁净室，这种方式延伸了垂直单向流的有效长度，相当于缩短了送风口至工作区的距离，主要用于洁净厂房内仅有部分工作区需要高级别的生产环境的场所。
