净化行业相关术语

1：洁净室（clean room）

空气悬浮粒子受控的房间，它的建造和应用减少室内诱入、产生和及停留的粒子。室内其它有关参数及如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

2:洁净区（clean zone）

空气悬浮粒子受控的限定区间，它的建造和应用减少室内诱入、产生和及停留的粒子。室内其它有关参数及如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

3：移动式洁净小室（mobile clean booth）

可整体移动的小型洁净室，有刚性和柔性材料围档两类。

4：人身净化用室 （room for cleaning human body）

人员在进入洁净室之前按一定程序进行净化的房间。

5:物料净化用室 （room for cleaning material）

物料在进入洁净室之前按一定程序进行净化的房间。

6:粒径 （particle size）

给定的粒径测定仪所显示的，与被测粒子的响应量相当的球形形体直径。

7:悬浮粒子 (airborne particle)

用于空气洁净度分级的空气悬浮粒子尺寸范围在0.1um-5um的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性，化学性，放射性和生命性。

8:超微粒子 （untrafine particle）

有当量直径小于0.1um的粒子。

9:微粒子（microparticle）

有当量直径大于5 um的粒子.

10 粒径分布（particle size diseribution）

粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。

11：含尘浓度（particle size distribution）

单位体积空气中悬浮粒子的颗数。

12：洁净度（cleanliness）

以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分洁净程度。

13：气流流型（air flow pattern）

对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。

14：单向流（unidirectional airflow）

通过洁净室（区）整个断面的风速稳定，大致平行的受控气流。

15：垂直单向流（vertical unidirectional airflow）

与水平垂直的单向流。

16：水平单向流（horizontal  unidirectional airflow）

与水平平行的单向流。

17：非单向流（non-vertical unidirectional airflow）

送入洁净室（区）的送风以诱导方式与室（区）内空气混合的气流分布类型。

18：流合流（mixed airflow）

单向流和非单向流组合的气流。

19：洁净工作区（clean working area）

除了工艺特殊要求外，指洁净室内离地面高度0.8-1.5m的区域。

20：空气吹淋室（air shower）

利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着的粒子的小室。

21：气闸室（air lock）

设置在洁净室的出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。

22：传递窗（pass box）

在洁净室隔塥上设置的传递物流和工器具的窗口。两侧装有不能同时开启的窗扇。

23：洁净工作台(clean bench)

能够保持操作空间所需的洁净度的工作台。

24：洁净工作服（clean working garment）

为了把工作人员产生的粒子限制在最小程度的所使用的发尘量少的洁净服装。

25：空态（as-built）

设施已经建城，其服务动力公用设施区接通并运行，胆无生产设备，材料及人员的状态。

26：静态（as-rest）

设施已经建城，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态。

27：动态 （operational）

设施以规定的方式运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

28：已装过滤检漏（installed filter systemleakage test）

为确认过滤器安装良好，没有向洁净室（区）的旁路渗漏，过滤器及框架均无缺陷和渗漏所做的检测。

29：纯水（purity water ）

对电解杂质含量和非电解杂质含量均有要求的水。

30：防静电环境（antistatic environment）

能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后晚于消散或消除，静电噪声难以传播。

31：表面电阻（surface resistance）

在材料的表面上两电极间所加电流电压与流过两极间的稳态电流之商。

32：体积电阻（volume resistance）

在材料的相对两表面上放置的两电极所加直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。该电流不包括沿材料表而后电流。

33:专用消防口（fire-fight access）

消防人员为灭火而进入建筑的专用入口，平时封闭，使用时由消防人员从室外打开。